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激光內(nèi)部改質(zhì)加工工藝 

技術(shù)原理

該技術(shù)即利用等離子體在材料內(nèi)部的膨脹沖擊,對周邊形成應(yīng)力傳導(dǎo)的效應(yīng)來切割材料,是一種非常先進的皮秒激光“冷”加工技術(shù)。可切割各種透明脆性材料,如玻璃、藍寶石、硅、碳化硅等材料。

應(yīng)用領(lǐng)域

廣泛應(yīng)用于LED晶圓(Sapphire)、半導(dǎo)體晶圓(Si、SiC)、手機攝像頭濾光片(Glass)、LCD顯示屏倒角(Glass)、手表表盤(Glass)等領(lǐng)域。

優(yōu)勢

  • 加工材料無損耗

    熱效應(yīng)小

  • 內(nèi)部加工可抑制加工碎屑產(chǎn)生

    適用抗污性差的樣品

  • 適用廣,針對不同厚度材料可以通過

    多層技術(shù)及多光點切割技術(shù)來高速加工

  • 使用環(huán)境要求不高,無需額外輔助清洗

    涂膠等傳統(tǒng)工藝,制程成本低

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