
該技術即利用等離子體在材料內部的膨脹沖擊,對周邊形成應力傳導的效應來切割材料,是一種非常先進的皮秒激光“冷”加工技術。可切割各種透明脆性材料,如玻璃、藍寶石、硅、碳化硅等材料。
廣泛應用于LED晶圓(Sapphire)、半導體晶圓(Si、SiC)、手機攝像頭濾光片(Glass)、LCD顯示屏倒角(Glass)、手表表盤(Glass)等領域。

加工材料無損耗
熱效應小
內部加工可抑制加工碎屑產生
適用抗污性差的樣品
適用廣,針對不同厚度材料可以通過
多層技術及多光點切割技術來高速加工
使用環境要求不高,無需額外輔助清洗
涂膠等傳統工藝,制程成本低
