設(shè)備型號(hào)：DSI-L-SC8016
應(yīng)用范圍：SI、金屬等基板的平片及DPSS晶圓片
主要特點(diǎn)：
設(shè)備特點(diǎn)：
1、長(zhǎng)焦深，可解決片子翹區(qū)問題
2、高精度高速加工系統(tǒng)
3、全自動(dòng)上下料
4、低損傷、高良品率
5、工藝參數(shù)可實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)、可存儲(chǔ)
主要參數(shù):
| 主要參數(shù) | 加工尺寸 | 4/6寸晶圓片 |
| 加工速度 | 2400~3200mm/s | |
| 加工精度 | ±1.5μm | |
| 平臺(tái)參數(shù) | 400*600mm | |
| 激光器參數(shù) | 200KHz | |
| Tact time | 4寸片單片加工時(shí)間為140S（不包含上下料時(shí)間） | |
| 稼動(dòng)率 | 98% | |
| 重大故障間隙時(shí)間 | 2H≥ | |
| 良率 | 95% | |
| 振鏡及控制系統(tǒng) | 最大速度： 5000mm/s 精度：±10μm | |
| 加工方式 | 螺旋式由外往內(nèi) 圓形直線填充方式 |
加工效果：
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