LED激光剝離機
設備型號:DSI-L-SC8016
應用范圍:SI、金屬等基板的平片及DPSS晶圓片
主要特點:
設備特點:
1、長焦深,可解決片子翹區問題
2、高精度高速加工系統
3、全自動上下料
4、低損傷、高良品率
5、工藝參數可實時調節、可存儲
主要參數:
主要參數 | 加工尺寸 | 4/6寸晶圓片 |
加工速度 | 2400~3200mm/s |
加工精度 | ±1.5μm |
平臺參數 | 400*600mm |
激光器參數 | 200KHz |
Tact time | 4寸片單片加工時間為140S(不包含上下料時間) |
稼動率 | 98% |
重大故障間隙時間 | 2H≥ |
良率 | 95% |
振鏡及控制系統 | 最大速度: 5000mm/s 精度:±10μm |
加工方式 | 螺旋式由外往內 圓形直線填充方式 |
加工效果:

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