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激光環切清洗一體機

設備型號:DSI-S-LTR660


應用范圍:針對半導體集成電路中的塑封體加工,提供精密激光環切、Notch切割、開孔挖槽、ID轉印及清洗的整體解決方案。




主要特點:

設備特點:

1、設備集成激光環切、Notch切割、開孔挖槽、ID轉印及清洗等多項工藝方案

2、晶圓輪廓及Notch口精準識別與定位

3、切割過程精度、深度的2D/3D視覺檢測

4、FOUP上料,晶圓機器人高效傳片

5、12英寸晶圓全自動作業

6、SEMI標準,支持SECS-GEM通信




主要參數:


主要參數

作用材料

EMC

晶圓尺寸12inch

環切寬度規格

>150μm,可調

環切寬度精度

±30μm
ID轉印深度>5μm,可調
ID轉印寬度精度±10μm
Notch切割精度Size:±20μm,Angle:±3°
塑封挖槽平面尺寸精度±10μm
塑封挖槽深度精度±20μm
傳輸系統Loadport、Robot、Aligner
長x寬x高LxWxH3000mm*2240mm*2380mm




加工效果:

    

環切效果圖.png

歡迎來電咨詢

400-666-4000

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