国产亚洲美女精品久久久久-国产女人18毛片水真多-少妇的丰满人妻hd高清-四虎成人精品国产永久免费无码-无码乱码av天堂一区二区

2022年10月08日，由大族半導體自主研發生產的國內首臺準分子Micro LED巨量轉移量產設備進駐辰顯光電，進入工廠測試驗證階段，標志著大族半導體在Micro LED關鍵技術裝備研制取得再一重要突破。

早在2021年11月，由大族半導體研制的國內首臺固體Micro LED巨量轉移量產設備就已搬入辰顯光電。通過與辰顯的深度合作，雙方圓滿完成了巨量轉移以及修復的預研任務，轉移良率達到99.9%，為此次準分子Micro LED巨量轉移量產設備的順利搬入奠定了堅實基礎。

固體Micro LED巨量轉移量產設備的順利測試以及準分子Micro LED巨量轉移量產設備的順利搬入，標志著大族半導體在新型顯示Micro LED產業的技術研究和裝備制造取得了又一關鍵性的突破，也標志著大族半導體在新型顯示Micro LED產業具備了成熟的成套裝備設計和應用能力。

行業發展，裝備先行。大族半導體一直走在LED顯示行業裝備的前沿，從2019年開始致力于攻克Micro LED激光相關加工工藝難題，推進Micro LED產業化進程。2020年起，大族半導體陸續在Micro LED產業多項關鍵技術上取得重要突破，現已形成一系列自主創新的關鍵工藝技術方案，如激光剝離、激光修復、激光巨量轉移、激光巨量焊接和玻璃拼接等整套解決方案，并具備相關設備量產能力。從技術研究和裝備應用領域豐富和完善了公司在Micro LED產業的布局，為Micro LED產業提供專業系統化解決方案。

大族半導體在Micro LED產業布局圖

該技術可實現從藍寶石襯底上的特定位置，或是整面剝離氮化鎵、膠材等材料，具備行業領先性。剝離工藝效果穩定，加工良率高，剝離良率可達99.9%以上?？蓪崿F最小尺寸10μm，間距10μm的芯片加工?；谧詣覥CD校正，可滿足對不同規格產品精準識別定位，配備超高精度運動平臺，全閉環控制，有效提高系統單位時間內的產能，并且具備激光剝離加工后蓋板與轉移基板自動分離功能。該款設備已實現量產。

激光修復設備可以在Micro LED的制造過程中篩選出有缺陷的芯片并進行修復，是Micro LED制程中的關鍵設備。此款激光修復設備可以讀取AOI檢測數據，實現對任意位置的不良芯片進行修復。修復效率高，Wafer/donor基板上MicroLED芯片去除的效率為2kk/h；Substrate基板上MicroLED芯片去除的效率為1k/h；Donor/substrate基板上MicroLED芯片轉移修復的效率達到2kk/h。

此款設備為國產首臺量產Micro LED巨量轉移設備，采用激光轉移技術，利用特殊整形后的方形光斑，結合高速振鏡掃描，可以實現高速加工，將芯片逐一轉移到下層基板（玻璃或者膜材）上。

此款設備通過整形光斑可實現對加溫區域的精準控制，避免整版全部加熱產生較大的熱應力，可以實現溫度實時反饋，對溫度進行精準控制。采用高精度的對位系統，可以實現對位精度±1.5μm，效率高，且焊點質量好，無曲翹。

大尺寸屏幕通常是由許多個窄邊框的小尺寸屏幕拼接而成，因而可以制作任意尺寸大小的大屏幕。要實現大屏拼接，需要制作高質量的小尺寸屏幕。在制作的過程中，許多流程需要激光來完成。大族半導體結合自主研發的ICICLES等工藝技術，自主開發出了一套集玻璃基板切割、線路刻蝕、保護膜層切割等需求的大屏拼接技術方案。此款設備采用紫外皮秒激光刻蝕線路圖案，無刻蝕殘留。大族半導體已經量產設備的線寬精度和拼接精度可達±5μm，正在開發線寬精度和拼接精度可達±3μm精度的設備。

大族半導體可為客戶提供一整套Micro LED研發、測試、量產的激光解決方案。未來，大族半導體將持續堅持自主創新發展理念，全力攻克Micro LED產業技術難題，加快推動Micro LED產業化進程，助力國家新型顯示產業發展。