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Micro LED專題:激光剝離設備高效賦能MIP技術

高工產研LED研究所(GGII)預測,到2025年,全球Micro LED市場規模將超過35億美元。2027年全球Micro LED市場規模有望突破100億美元大關。


隨著LED顯示屏的逐步演變,LED顯示技術從LCD—OLED—Mini LED/Micro LED;LED顯示封裝形式也從直插DIP型—PLCC-TOP型SMD—CHIP型SMD—IMD/COB/MIP/COG。


其中,MIP封裝正成為LED封裝頭部企業在大尺寸Micro LED生產環節的關鍵技術,主要在于它具有顯示效果好、高適配性和低成本等優點,降低了Micro-LED的使用門檻,可高效賦能Micro LED量產應用。

1、顯示效果好:MIP器件能夠做到RGB Micro像素的全測、分選、混Bin,能使面板的顯示一致性高。

2、高適配性:MIP封裝產品具有高適配性,一款MIP器件可匹配多種點間距的產品應用。

3、低成本:MIP封裝技術在分光分色的同時可將不良篩選剔除,保證出貨前的良率,降低了下游的返修成本;同時,MIP封裝技術能夠兼容當前設備,具有降低研發、設備投入的優勢。


MIP(Micro LED in Package)封裝技術是一種基于Micro LED的新型封裝技術,通過將大面積的整塊顯示面板分開封裝,實現Micro LED和分立器件的有機結合。其工藝流程是將Micro LED芯片通過巨量轉移技術轉移到基板上,進行封裝后,切割成單顆或多合一的小芯片,再將小芯片分光混光,接著再進行貼片工藝、屏體表面覆膜,完成顯示屏的制作。


mip技術制程.jpg


激光加工設備覆蓋了Micro LED大部分的核心工藝制程,激光剝離設備作為核心工藝制程之一,主要用于Micro LED領域從藍寶石上選定位置或者整面剝離氮化鎵、膠材等材料的剝離加工。大族半導體自主研發的激光剝離設備采用紫外激光器及外光路系統,搭配高精度的CCD成像定位系統及超精密運動控制平臺,可達到精確、高效、高品質的剝離效果,該款設備已實現量產。


Micro LED激光剝離設備


圖片 2.png


01 性能特點

● 剝離工藝效果穩定,加工良率高,剝離良率可達99.9%以上;

● 可實現最小尺寸10μm,間距10μm的芯片加工;

● 自動CCD校正,可滿足對不同規格產品精準識別定位;

● 可兼容4/6/8 inch的基板及6inch及以下wafer;

● 具備激光剝離加工后蓋板與轉移基板自動分離功能;

● 光斑可調,可根據需求更換或調節MASK得到不同尺寸和形狀的光斑;

● 載臺可升降,升降補償視覺聚焦,可解決片子翹曲氣泡問題;

● 自動上下料,無人值守全自動運行;

● 配備超高精度運動平臺,全閉環控制,有效提高系統單位時間內的產能。


02 加工效果

固體準分子LLO.jpg準分子LLO.jpg


大族半導體從2019年開始致力于研究在Mini LED/Micro LED領域激光加工應用的相關課題,協助LED頭部企業推進Micro LED產業化進程。除激光剝離設備以外,大族半導體還可提供如激光修復、激光巨量轉移、激光巨量焊接和玻璃拼接等整套解決方案,并具備相關設備量產能力。大族半導體將持續為Micro LED產業提供專業系統化解決方案,高效賦能Micro LED產業。

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