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碳化硅晶圓改質切割設備

設備型號：DSI-S-TC9310

應用范圍：SiC，GaN，LT，LN等晶圓改質切割設備



主要特點：

設備特點：

1、特制激光系統 

2、優異的切割效果

3、全自動生產

4、高精度視覺系統；自動對位，自動尋焦

5、高精密運動平臺

6、兼容4/6inch生產

7、SECS GEM標準接口



主要參數:


主要參數加工尺寸4inch、6inch晶圓
加工速度400-1000mm/s
加工精度±1μm
平臺參數行程300mm×300mm

重復定位精度±0.001mm
θ軸重復定位精度±2arcsec

激光器參數紅外
稼動率98%以上
重大故障間隙時間＞1000H
良率≥99.5%




加工效果：


   


歡迎來電咨詢

400-666-4000

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