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Mini LED專用切割設(shè)備

設(shè)備型號(hào):SVL-XC7000

應(yīng)用范圍:藍(lán)寶石的內(nèi)部改質(zhì)切割(60um≤片厚≤150um(最短邊寬度>片厚)



主要特點(diǎn):

設(shè)備特點(diǎn):

1、自動(dòng)廣角輪廓校正:兼容破殘片切割 

2、自動(dòng)掃條碼功能,配合生產(chǎn)信息上拋功能

3、全新自動(dòng)上下料,無(wú)人值守全自動(dòng)運(yùn)行,提升上下料效率 

4、平臺(tái)行程和載臺(tái)大小可滿足2寸、4寸及6寸片的生產(chǎn)(4/6寸一鍵切換)

5、DRA響應(yīng)精度50HZ@±5um

6、自動(dòng)調(diào)焦功能(激光焦點(diǎn)校正)

7、標(biāo)配SECS-GEM協(xié)議



主要參數(shù):


主要參數(shù)加工尺寸晶元Size范圍 ≥3*5mil
加工速度<1000mm/s
加工精度重復(fù)定位精度:Y軸±0.5μm,X/Z軸±1μm
平臺(tái)參數(shù)平臺(tái)有效行程:400*400mm
激光器參數(shù)特制激光器(1030紅外激光),最大功率<8W
Tact time4寸片單刀工藝,以2150道為例=1040秒/片 (28天*22H月產(chǎn)能=2130片)
稼動(dòng)率設(shè)備稼動(dòng)率 ≥ 95%
重大故障間隙時(shí)間8000H
良率電性良率 藍(lán)光/綠光:4”整片電性total yield: ≥97%;



加工效果:


波浪紋

1、60μm≤片厚 ≤ 100μm;波浪紋≦±2μm 

2、100μm<片厚≤ 150μm;波浪紋≦±2.5μm

歡迎來(lái)電咨詢

400-666-4000

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