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設備重量

3t（不含冷水機）

其它描述

1、電壓：單相220V
2、功率：3KW
3、CDA:0.6~0.7Mpa
4、水壓：0.2~0.3Mpa
5、廢氣：φ100mm
6、廢水：φ25mm

主要參數

加工尺寸

4/6寸晶圓片

加工速度

100~500mm/s

加工精度

±1.5μm

平臺參數

300*600mm

激光器參數

50~500KHZ

Tact time

4寸片160*160μm步距為標準：
單片加工時間為23.5分鐘；
WPH ≥2.5pcs

稼動率

98%

重大故障間隙時間

2H≥

良率

99%

其他參數

CCD：
廣角1個：500萬像素
  上 2個：130W像素
  下 1個：130萬像素
DD馬達：
絕對定位精度： ±20arc-sec
  重復定位精度： ±3 arc-sec