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Micro LED 激光剝離&分離一體機

應用范圍:主要用于Micro LED領域從藍寶石上選定位置或者整面剝離氮化鎵、膠材等材料的剝離加工。



主要特點:

1、剝離工藝效果穩定,加工良率高,剝離良率可達99.9%以上

2、可實現最小尺寸10um,間距10um的芯片加工

3、自動CCD校正,可滿足對不同規格產品精準識別定位

4、可兼容2/4/6/8 inch的TS及8inch以下wafer

5、自動上下料,無人值守全自動運行

6、配備超高精度運動平臺,全閉環控制,有效提高系統單位時間內的產能

7、具備激光剝離加工后蓋板與轉移基板自動分離功能



主要參數:


序號功能項目規格
1適用晶圓尺寸2/4/6/8 inch,可向下兼容(可定制8inch以上)
2可加工最小LED尺寸size≤10um:pitch≤10um
3加工速度<100s/pcs(4inch)
4加工良率≥99.9%
5產品定位精度+/- 1um
6XYZ平臺移動范圍X軸500mm;Y軸500mm;Z軸20mm
7旋轉軸行程范圍+/- 60°
8載臺加熱溫度室溫~150℃
9產品對位功能自動拉水平,快速定位
10自動分離蓋板功能支持



加工效果:


12寸半自動刀輪設備.png   


歡迎來電咨詢

400-666-4000

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