設備型號：DM100-M0406B
應用范圍：適用于將巨量的Micro LED芯片轉移到目標基板上，轉移過程具有極高的良率和效率
主要特點：
設備特點：
1、轉移效果好，巨量轉移過程中對芯片無損傷，具備高良率、高效率的特點
2、可實現巨量轉移和選擇性轉移，對Micro LED芯片進行陣列排布
3、可根據AOI/PL設備提供的Mapping圖，進行高速準確選擇性轉移
4、具備高精度對位系統、高精度姿態調節系統，確保Mciro LED轉移落點精準
5、全自動化上下料，可根據產品進行自動化定制
主要參數:
| 主要參數 | 上載臺兼容尺寸 | 4寸 6寸 8寸 (可定制) |
| 下載臺兼容尺寸 | 370*470mm (可定制) | |
| 三色自動上下料 | 支持 | |
| 光斑形貌 | 平頂光 | |
| 光班均勻性 | ≥96% | |
| 最大能量密度 | ≥1500 mJ/cm2 | |
| 對位精度 | < ±1um | |
| Gap調節精度 | ≤1um | |
| Xy運動平臺 | 根據產品定制 | |
| 光罩Mask切換 | 全自動切換 |
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