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主要特點：

設備特點：

1、堆疊式高產能架構，占地面積小

2、配備多段回吸的多腔體共用供膠系統，有效節省光刻膠的用量

3、選配高精度熱板、WEE、AOI等單元部件，滿足更高標準工藝需求

4、核心單元模塊化設計，組合方式靈活多變，最大限度客制化

5、滿足工廠FA自動化需求

6、可以與主流光刻機聯機

主要參數: