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設備型號：FLEE-G1009A
應用范圍：可以實現各種尺寸盲孔、異形孔、圓錐孔制備，在先進封裝、顯示制造、消費電子、生命科學等領域有巨大的應用潛力。
設備咨詢
主要特點：
設備特點：
1、靈活的尺寸兼容性，300mm以下全尺寸兼容
2、采用飛秒激光技術，高效、高品質加工
3、自主研發的加工和控制系統
4、配備高精度的晶圓自動校正系統
5、 全自動無人值守
6、擁有多項自主知識產權及核心技術
7、大族半導體研發的TGV玻璃通孔設備，是國內研發最早，至今穩定用于TGV量產的設備。
主要參數:
孔位置精度
3μm
運行速度
≥800mm/s
孔壁質量
≤100nm (與材料和刻蝕能力相關)
加工效果：
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