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主要特點：

設備特點：

1、根據產品不同功能、不同位置光源亮度獨立設定，可有效解決產品差異

2、主要功能：料盒上料（ 25個鐵環），化合物解理劃片，全自動貼膜，全自動裂片

3、工業視覺，晶圓輪廓及Notch口高效識別

4、兼容晶圓，巴條，氮化鉀巴條，CELL等不同類型產品全自動作業

5、SEMI標準，支持SECS-GEM通信

主要參數:

加工效果：