9月14日，“維科杯”O(jiān)Fweek2020（第十七屆）中國(guó)先進(jìn)激光技術(shù)峰會(huì)暨年度評(píng)選頒獎(jiǎng)典禮在上海成功舉辦。本次活動(dòng)聚焦國(guó)內(nèi)激光市場(chǎng)，針對(duì)汽車制造、3C電子、鈑金加工等工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域，深入探討激光加工的創(chuàng)新技術(shù)及其在不同行業(yè)的實(shí)際應(yīng)用，并于同期舉辦了2020年度激光行業(yè)評(píng)選頒獎(jiǎng)典禮。
本屆評(píng)選活動(dòng)經(jīng)過(guò)網(wǎng)絡(luò)投票、專家組評(píng)審及組委會(huì)綜合評(píng)審三輪角逐，評(píng)出各大獎(jiǎng)項(xiàng)獲獎(jiǎng)名單。大族顯視與半導(dǎo)體的LED全自動(dòng)激光剝離設(shè)備在本屆評(píng)選活動(dòng)中榮獲“激光行業(yè)精密激光設(shè)備技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)”。
“激光行業(yè)精密激光設(shè)備技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)”
大族顯視與半導(dǎo)體LED全自動(dòng)激光剝離設(shè)備
激光剝離技術(shù)(Laser Lift Off，LLO)是利用激光能量分解GaN/藍(lán)寶石接口處的GaN緩沖層，從而實(shí)現(xiàn)LED外延片從藍(lán)寶石襯底分離。大族顯視與半導(dǎo)體自2016年開(kāi)始鉆研該項(xiàng)技術(shù)，并于2018年推出國(guó)內(nèi)首臺(tái)全自動(dòng)激光剝離設(shè)備，打破國(guó)外的技術(shù)壟斷，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)空白。目前全球擁有該項(xiàng)技術(shù)并能用于穩(wěn)定生產(chǎn)的企業(yè)不多，大族顯視與半導(dǎo)體則是國(guó)內(nèi)唯一一家。
近年來(lái)，如何穩(wěn)定、高質(zhì)量地進(jìn)行外延和襯底的剝離，已經(jīng)成為新型顯示技術(shù)Micro LED的重要技術(shù)瓶頸之一。與傳統(tǒng)垂直結(jié)構(gòu)LED相比，Micro LED芯片特殊的結(jié)構(gòu)和發(fā)光原理，使其剝離難度更大。大族顯視與半導(dǎo)體通過(guò)跟行業(yè)戰(zhàn)略客戶的緊密配合，刻苦鉆研，不斷改進(jìn)工藝技術(shù)，升級(jí)優(yōu)化設(shè)備，在剝離的效果、穩(wěn)定性、效率等方面都獲得了極大的突破，并且在不斷摸索更好的解決方案。
·采用超快固體（DPSS）激光器作為光源，剝離效果優(yōu)異；
·自研深紫外倍頻技術(shù)，配合自主設(shè)計(jì)的外光路，高品質(zhì)實(shí)現(xiàn)晶圓和藍(lán)寶石的分離；
·聚焦焦深長(zhǎng)，可應(yīng)對(duì)±500μm產(chǎn)品翹曲；
·加工幅面大，兼容2~6寸晶圓全自動(dòng)加工，并裝載高精度CCD相機(jī)，精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)區(qū)域剝離；
·加工效率高，比傳統(tǒng)準(zhǔn)分子設(shè)備加工省時(shí)50%以上。
大族顯視與半導(dǎo)體始終走在LED顯示行業(yè)裝備的前沿，積極對(duì)新型顯示Mini LED/Micro LED產(chǎn)業(yè)進(jìn)行戰(zhàn)略布局，優(yōu)化改進(jìn)工藝，加快研發(fā)激光修復(fù)、大屏拼接、巨量轉(zhuǎn)移、AOI等技術(shù)，為新型顯示應(yīng)用提供專業(yè)解決方案。
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