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大族半導(dǎo)體分選機(jī),領(lǐng)航國產(chǎn)半導(dǎo)體分選設(shè)備

隨著新興技術(shù)、高性能計算、5G、物聯(lián)網(wǎng)等應(yīng)用市場爆發(fā),不同應(yīng)用的需求功能越來越多,集成器件也更加繁雜,封裝技術(shù)的發(fā)展同樣需要滿足電子產(chǎn)品小型化、輕量化、多功能、低功耗、高性能等需求。在此市場環(huán)境下,先進(jìn)封裝憑借成本低、良率高、芯片集成度高的優(yōu)勢,逐步擠占傳統(tǒng)封裝的市場份額,有望成為主流的技術(shù)方向。


制程差異圖+水印.jpg


傳統(tǒng)封裝和先進(jìn)封裝的制程差異縮略圖



晶圓級芯片分選機(jī),是Wafer to Tape形式的芯片分選設(shè)備,致力于提供高水準(zhǔn)、高精度、100%AOI視覺一站式分選解決方案。其主要功能是:對芯片的六個面進(jìn)行外觀檢查、缺陷判定和分選編帶,每小時效率可達(dá)40K,適用于倒裝封裝、晶圓級封裝等半導(dǎo)體先進(jìn)封裝工藝,是半導(dǎo)體先進(jìn)封裝設(shè)備國產(chǎn)替代重要的一環(huán)。

在工藝流程上,設(shè)備應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片先進(jìn)封裝制程的最后一道工序,即對接著切割流程,是半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過程中必不可少的環(huán)節(jié)。其工作流程如下:


分選機(jī)工作流程+水印.jpg



大族半導(dǎo)體晶圓級芯片分選機(jī)

晶圓分選new2+水印.png


規(guī)格參數(shù)

設(shè)備參數(shù)+水印.jpg



高速、高精度、高穩(wěn)定性的分選設(shè)備 

設(shè)備配置高速高精度直線電機(jī)平臺,由直線電機(jī)直接驅(qū)動,配套光柵反饋系統(tǒng),重復(fù)定位精度±2μm,可快速精準(zhǔn)定位;

UPH最高可達(dá)45K包含100%視覺檢測),放置精度誤差僅20μm


l 高兼容性的分選設(shè)備

設(shè)備可兼容6寸,8寸,12寸的晶圓Wafer;

可適用產(chǎn)品范圍:0.5x0.5mm(min),9x9mm(max)

當(dāng)更換不同規(guī)格產(chǎn)品時,只需整個編帶組件移出到機(jī)臺外側(cè)即可,最快可實(shí)現(xiàn)1小時復(fù)機(jī)


l 自動對位系統(tǒng)

頂針、吸嘴、編帶間配置自動對位系統(tǒng),可快速檢測并校正吸嘴和吸嘴、吸嘴和頂針、吸嘴與編帶間的位置偏差,使原本復(fù)雜費(fèi)時

的產(chǎn)品更換和調(diào)試時間被大大縮短,新產(chǎn)品調(diào)試更快更簡單;且可實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)吸取、放料,確保高效安全生產(chǎn)。


l 可分離的擴(kuò)膜驅(qū)動系統(tǒng)

晶圓只在特定位置擴(kuò)膜,避免晶圓在生產(chǎn)調(diào)試過程中移位撞擊吸嘴,減少芯片在釋放過程承受機(jī)械壓力所帶來的產(chǎn)品損耗,使產(chǎn)品更安全;


l 出色的高精度的AOI視覺檢測

晶圓級芯片分選機(jī)的自動光學(xué)AOI檢測技術(shù),可以自動定位和檢測晶圓芯片,配置不同倍率的高解析度鏡頭,最小可檢測2μm左右的瑕疵尺寸。

為了進(jìn)一步提高晶粒產(chǎn)出質(zhì)量,晶粒分選環(huán)節(jié)進(jìn)行全程檢測,包括:晶粒入編前AOI六面檢,入編后正面檢、封膜前后效果檢測;


l 模塊化開發(fā)設(shè)計,安裝維護(hù)更便捷

結(jié)構(gòu)上實(shí)現(xiàn)模塊化設(shè)計,方便一體式拆裝。

設(shè)備電氣控制部分線路采用端子插排,氣管的走線美觀清晰,維護(hù)簡單高效,總線控制方式更換電機(jī)驅(qū)動方便快捷;


芯片分選領(lǐng)域,品牌分選機(jī)最優(yōu)之選,毋庸置疑--大族分選機(jī)


ü 優(yōu)秀的研發(fā)與設(shè)計能力

ü 嚴(yán)格品質(zhì)管控

ü 高效精準(zhǔn)的生產(chǎn)制造

ü 快速的售后反應(yīng)

ü 可提供個性化方案定制服務(wù)


大族半導(dǎo)體作為半導(dǎo)體行業(yè)高端設(shè)備制造商,將始終秉承自主創(chuàng)新理念在半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域持續(xù)深耕、不斷完善,以領(lǐng)先的研發(fā)實(shí)力和成熟的應(yīng)用成果,為客戶提供源源不斷的專業(yè)解決方案,助力加速半導(dǎo)體裝備國產(chǎn)化替代進(jìn)程。


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