碳化硅裂片機
設備型號：DSI-L-SS1126
應用范圍：SiC、Si等材料裂片
主要參數:
| 主要參數 | 加工尺寸 | 2-6inch晶圓 |
| 加工速度 | 2.5道/s |
| 加工精度 | ±3um |
| 平臺參數 | 165mm*165mm |
| 稼動率 | 0.95 |
| 重大故障間隙時間 | 1000H |
| 良率 | ≥99.5% |
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