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主要特點：

設備特點：

1、高動態(tài)高功率飛秒激光器

2、高精度光學掃描加工系統(tǒng)

3、高柔性高效率剝離系統(tǒng)

4、加工面平整，材料耗損低，出片率高

5、加工效率快，良率高

6、大尺寸加工，8inch

7、超薄晶圓加工，加工材料兼容性好

主要參數:

加工效果：